ꁇ磁控溅射镀膜设备

• FHR.Star系列

• FHR.Eoss 系列

• FHR.Line 系列

• FHR.Roll 系列

• FHR.Boxx 系列

ꁇ快速退火炉

• 4“和6”快速退火炉

• 8”快速退火炉

ꁇCVD镀膜设备

• MPA.高温真空CVD/CVI 炉

• Tystar.光增强反应器

• Annealsys.直流喷射型（DLI）设备

• Tystar.TYTAN 炉

ALD原子层沉积设备

ꁇ半导体工艺部件及耗材

• 磁控溅射靶材

• Flowlink 阀门

• 静电卡盘

• 工艺气体配气盘/柜

• 石墨托盘

ꁇ尾气处理设备

• 燃烧-水洗 系统

• 电加热水洗

• 干式吸附系统

检测设备