010-82254950

CT-BW 燃烧-水洗

 

每个模块的废气总流量可达1,500slm

 

每个反应腔有四个独立的废气进口

 

高达99.99%的处理效率(DRE)

 

经客户端测试,在处理沉积和蚀刻制程废气上有极佳的处理效率

 

针对半导体EPI制程,特别设计CT-BW-EPI设备

 

燃烧反应腔的水幕设计大幅降低了腐蚀及粉尘沉积的问题