010-82254950

FHR.Roll 系列

型号

Roll 300 Roll 1600

图片

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fhrroll1600-pvd

卷膜最大宽度

300mm

1600mm

衬底材料

PET,PEN,PI或其他聚合物,金属箔

PET,PEN,PI或其他聚合物,金属箔

溅射靶位

4个溅射源

1-10(单工艺鼓式)2-20(双工艺鼓式)

射频刻蚀源

1个刻蚀源

1个刻蚀源

极限真空

5×10-6mbar

<1×10-6mbar(可选<8×10-7mbar)

膜厚均匀性

±5%

±5%

工艺气体

氩气(Ar),可选氮气(N2),氧气(O2

氩气(Ar),可选氮气(N2),氧气(O2

设备尺寸

2700mm×2800mm×2200mm,15t

 

可选件

基片加热

基片加热

典型应用

柔性电子

薄膜太阳能电池技术领域接触层、绝缘层和阻挡层沉积

光学和功能性膜层的沉积

柔性电子

薄膜太阳能电池技术领域接触层、绝缘层和阻挡层沉积

光学和功能性膜层的沉积