FHR.Roll 系列
型号 |
Roll 300 | Roll 1600 |
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卷膜最大宽度 |
300mm |
1600mm |
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衬底材料 |
PET,PEN,PI或其他聚合物，金属箔 |
PET,PEN,PI或其他聚合物,金属箔 |
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溅射靶位 |
4个溅射源 |
1-10（单工艺鼓式）2-20（双工艺鼓式） |
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射频刻蚀源 |
1个刻蚀源 |
1个刻蚀源 |
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极限真空 |
5×10-6mbar |
＜1×10-6mbar（可选＜8×10-7mbar） |
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膜厚均匀性 |
±5% |
±5% |
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工艺气体 |
氩气（Ar），可选氮气（N2），氧气（O2） |
氩气（Ar），可选氮气（N2），氧气（O2） |
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设备尺寸 |
2700mm×2800mm×2200mm,15t |
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可选件 |
基片加热 |
基片加热 |
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典型应用 |
柔性电子 薄膜太阳能电池技术领域接触层、绝缘层和阻挡层沉积 光学和功能性膜层的沉积 |
柔性电子 薄膜太阳能电池技术领域接触层、绝缘层和阻挡层沉积 光学和功能性膜层的沉积 |
