010-82254950

FHR.Line 系列

型号

Line 1600

Line 2500

图片

In-line-2

Line2500

最大基片尺寸

500mm×300mm×12mm

2200mm×2100mm×10mm

衬底材料

半导体;陶瓷;玻璃

玻璃

溅射靶位

2-6个

12个

极限真空

<9×10-7mbar

<1×10-6mbar

膜厚均匀性

±3%

±3%

工艺气体

氩气(Ar)氮气(N2)氧气(O2)

氩气(Ar)氮气(N2)氧气(O2)

设备尺寸

3600mm×3500mm×2500mm(包含支架)4500kg

4500mm×500mm×2500mm

可选件

基片可加热RF

等离子体刻蚀

基片可加热RF

等离子体刻蚀

典型应用

MEMS

传感器微电子

光电子

光伏

平板显示光学