FHR.Star系列
| 型号 | Star.100Tetra Co | Star.100Penta Co | Star.220 | Star.300 |
| 基片最大尺寸 | 直径6英寸 | 直径6英寸 | 直径6英寸 | 直径8英寸 |
| 进样室类别 | 单基片进样室 | 单基片进样室 | 盒式载片器进样室 | 盒式载片器进样室 |
| 溅射靶位 | 最多4个 | 最多5个 | 最多6个 | 最多7个 |
| 极限真空 | 5×10-7mbar | 5×10-7mbar | 5×10-7mbar | 5×10-7mbar |
| 膜厚均匀性 | ±3% | ±3% | ±5% | ±3% |
| 工艺气体 | 氩气（Ar），可选氧气（O2），氮气（N2） | 氩气（Ar），可选氧气（O2），氮气（N2） | 氩气（Ar），可选氧气（O2），氮气（N2） | 氩气（Ar），可选氧气（O2），氮气（N2） |
| 设备尺寸 |
3500mm×1650mm ×2600mm,＜2000Kg |
4100mm×2800mm ×2700mm,（含电源架）＜2500Kg |
3300mm×1300mm ×2500mm, 3000Kg |
3220mm×4200mm ×2080mm, 6321Kg |
| 可选件 |
基片加热 RF bias 靶基距可调 RF等离子体刻蚀 |
基片加热 RF bias 靶基距可调 RF等离子体刻蚀 |
基片加热 靶基距可调 RF等离子体刻蚀 |
基片加热 RF bias 靶基距可调 RF等离子体刻蚀 |
| 典型应用 |
硅基半导体 化合物半导体 功率半导体 MEMS 传感器微电子 光电子 |
硅基半导体 化合物半导体 功率半导体 MEMS 传感器微电子 光电子 |
硅基半导体 化合物半导体 功率半导体 MEMS 传感器微电子 光电子 |
硅基半导体 化合物半导体 功率半导体 MEMS 传感器微电子 光电子 |
北京朗铭润德光电科技有限公司是一家在半导体微电子、高精密光学镀膜领域，光伏、光热、锂电池等新能源领域以及窗膜、汽车膜、柔性电路板等行业提供专业相关工艺设备的代理公司。（这里是产品简介）
