010-82254950

4" 6" 快速退火炉

型号

AS-Micro

AS-One 100

AS-One 150

Zenith

图片

ASMicro

ASOne

ASOne

Zenith100

腔室材质

不锈钢水冷壁腔室

不锈钢水冷壁腔室

不锈钢水冷壁腔室

不锈钢冷壁腔

最大衬底直径

75mm(3")

100mm(4")

150mm(6")

100 mm (4")

温度范围(标准)

RT到1250℃

RT to 1250

RT to 1200

450to 2000

温度范围(高温版本) -- RT to 1450 RT to 1300

温度重复性

± 1°C

± 1°C

± 1°C

± 1°C

升温速率

0.1 to 250/s

0.1to 200/s

0.1 to 150/s

最大 4℃/s up to 1800℃

最大 2℃/s up to 2000℃

灯数量/最大功率

6 / 15 kW

12 / 30 kW

18 / 34 kW

38 kW

温度控制

快速数字PID

快速数字PID

快速数字PID

快速数字PID

工艺气体管路

4

5

5

8

真空范围Roughing

真空范围Turbo

10-3 Torr

10-6 Torr

10-3 Torr

10-6 Torr

10-3 Torr

10-6 Torr

10-3 Torr

10-6 Torr

应用

注入退火、欧姆接触退火、RTO、RTN、致密和结晶、硒化、石墨烯CVD、扩散……

注入退火、欧姆接触退火(III-V and SiC)、Si碳化、RTO、RTN、致密和结晶、硒化、石墨烯CVD……

SiC注入退火、石墨烯CVD、高温SiC升华制作石墨烯……

装片方式

手动

手动

手动

手动