010-82254950

8“快速退火炉

型号

AS-Master

AS-Premium

图片

ASMaster

ASPremium

腔室材质

不锈钢水冷壁腔室

不锈钢水冷壁腔室

最大衬底直径

200mm(8”)

156 x 156 mm²(200mm capability)

温度范围(标准)

RT-1150℃/1250℃/1450℃(取决于不同版本)

RT to 1100°C(单面加热低温版本)

温度范围(高温版本)

--

RT to 1300°C(单面加热高温版本)

RT to 1300°C(双面加热)

温度重复性

± 1°C

± 1°C

升温速率

0.1-200℃/s

0.1°C to 250°C/s0.1°C to 200°C/s0.1°C to 150°C/s

灯数量/最大功率

20 /102 kW32 (取决于不同版本)

16 / 46 kW18 / 80 kW28 / 56 kW

温度控制

快速数字PID

快速数字PID

工艺气体管路

6

8

真空范围Roughing

10-3 Torr

10-3 Torr

真空范围Turbo

10-6 Torr

10-6 Torr

应用

注入退火、欧姆接触退火(III-V and SiC)、Si碳化、RTO、RTN、致密和结晶、硒化、快速热CVD(多晶硅、SiO2, SiNx)……

注入退火、欧姆接触退火(III-V and SiC)、RTO、RTN、致密和结晶、硒化、石墨烯CVD、致密和结晶、扩散……

装片方式

手动, 机械自动化装载

手动,枚叶接口自动装载