Boxx.400

FHR.Boxx溅射设备产品系列 – 也可称作箱式镀膜设备 –为多种不同基片小规模量产镀膜任务提供极具吸引力的解决方案。

相较单腔室箱式镀膜设备，利用矩形闸阀分隔为一个工艺模块和一个进样室/预清洗模块，各模块配备独立泵抽系统。镀膜鼓可实现在上述腔室间的隔离，从而使工艺模块保持真空状态，降低杂质的引入和飘散。

启动进样室内的旋转鼓，通过等离子体刻蚀方式对基片进行预清洗工艺。可另外选择对基片进行加热以实现除汽过程。当工艺腔室内镀膜鼓开始旋转，基片将被运送到不同的溅射区域，从而实现多个溅射源的顺序镀膜工艺。