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4"及6"基片适用

发布时间:2024-03-01 15:08:20 浏览次数:119次

多功能快速高温退火设备

适应尺寸:100mm4")及150mm6"

 


AS-One

AS-Premium

快速热退火设备(RTP)AS-Premium.jpg
概述

100mm(4")和150mm(6")设备冷壁技术 

具备标准真空性能立式设备,减少占地面积

可处理尺寸达156x156 mm2 基片的RTP设备 温度范围:室温到1300℃

具备标准真空性能 多种腔室和灯管配置

基片尺寸

可处理直径达100mm(4英寸)的基

As-One150可处理直径达150mm(6英寸)的基片,小基片可使用托盘

尺寸达156x156 mm2 的基片,小基片可使用托盘
温度范围

标准版本:高达1250℃

高温版本:高达1450℃(1300℃ )--针对4"

标准版本:1100℃ 

高温版本和双侧加热版本:1300℃

真空和气体

最多5路由数字MFC控制的工艺气路

一条吹扫气路 

真空阀和真空规

最多8路由数字MFC控制的工艺气路 

一条吹扫气路 

真空阀和真空规


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