原子层沉积设备

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发布时间：2024-02-27 21:11:58 浏览次数：119次

立式熔炉分批原子层沉积

基底尺寸：4 ~ 12”标准（晶片）

产品晶片：25个/50个（最多100个）

船槽间距：10 ~ 15mm

用于晶片装载的船升降系统

上/下和晶片旋转

手动/自动晶片转移

加热炉：区域温度控制

工艺流程温度：400℃ ~ 800℃

上升：> 10 ℃/min

下降：2 ~ 3.3 ℃/min