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发布时间:2024-02-27 21:11:58 浏览次数:81次

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立式熔炉分批原子层沉积

基底尺寸:4 ~ 12”标准(晶片)

产品晶片:25个/50个(最多100个)

船槽间距:10 ~ 15mm

用于晶片装载的船升降系统

上/下和晶片旋转

手动/自动晶片转移

加热炉:区域温度控制

工艺流程温度:400℃ ~ 800℃

上升:> 10 ℃/min

下降:2 ~ 3.3 ℃/min




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